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等离子清洗机
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等离子清洗机
V1000/1000X/1000XS
13.56MHz 高频输出的等离子清洗机,搭载RIE·DP 双模式。
特点
  • 硅晶圆的灰化及蚀刻。
  • 基板表面污垢处理。
  • IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。
  • 半导体相关部品的电子材料的干式清洗。
  • 自然氧化膜·有机物去除。
  • 界面活性处理。
  • 表面污染物去除。
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